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浅析真空度测试仪的测量方法

  • 发布日期:2020-10-27      浏览次数:61
    • 测试方法

      真空度测试常见的有破坏性测试方法和无损检测方法。

      破坏性测试方法zuichang见的是采用针头刺入容器顶空,通过压力(真空度)传感器探测获取真空度,该测试方法在一定程度上会受到管路中空气的影响,可以用于真空度的粗略抽查,在小顶空容器中表现尤为明显。典型的应用是用于粗略的进行密闭容器完整性测试(CCIT)评估,方法是将高真空的西林瓶(抽真空到接近0.1mbar)留样半年到1年,然后观察瓶内真空度。如果里面还有一定真空度,即里面的压力是微负压,说明瓶子是不漏的;相反,如果里面的压力是常压,说明瓶子是漏的。

      如果是用于工艺的优化和标准的制定,通常会采用无损的真空度测试方法。无损的真空度测试方法zui常见的是激光法(即调频光谱法(FMS)),它的基本原理是空气中的O2、水汽、CO2会在一定波段下有激光吸收,并且会得到吸收的图谱,吸收的激光量(在图中是峰高或振幅)和物质的含量成正比,其中水汽的激光吸收图谱中的峰宽(波峰和波谷之间的横向距离)和顶空总压力成正比。因此,采用激光法能够对容器进行无损真空度测试。激光法对真空度的zui小检出限大约为7mbar,因此能测试出zui接近真实的真空度。

       

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